CVD-DZVK系列单温区CVD体系

  济南鲁热仪器是由多位具有试验仪器职业十多年工作经验的职业精英组成而成，公司致力于试验仪器的研制、规划、制作、出售、售后一体化服务。公司专心于电加热类仪器设备的研制规划，包含马弗炉、箱式炉、高温马弗炉、陶瓷纤维马弗炉、坩埚马弗炉、真空气氛箱式炉、真空气氛管式炉、CVD设备、PECVD设备、升降式马弗炉、电热板、COD恒温加热器、消解仪等仪器设备。公司出售剖析类仪器，包含全自动凯氏定氮仪、脂肪测定仪、配套消解仪等公司承包非标产品定制服务、产品升级改造、产品托付维修保养等服务。公司产品包含电加热类仪器、剖析类仪器、样品前处理类仪器。公司秉承“扎根齐鲁、”的企业理念，专心产品质量、真挚服务客户！

  CVD体系运用：CVD是化学气相堆积的英文简写，本公司出产的CVD体系是运用管式炉加热，把构成固态堆积物的气态反响剂或液态反响剂的蒸气及反响所需其它气体引进炉管内，在炉管内使气态或蒸汽状况的化学物质在气相或气固界面上经化学反响构成固态堆积物的技能。CVD体系分类：CVD技能常常经过反响类型或许压力来分类，包含低压CVD(LPCVD)，常压CVD(APCVD)，亚常压CVD(SACVD)，超高真空C......

  CVD是化学气相堆积的英文简写，本公司出产的CVD体系是运用管式炉加热，把构成固态堆积物的气态反响剂或液态反响剂的蒸气及反响所需其它气体引进炉管内，在炉管内使气态或蒸汽状况的化学物质在气相或气固界面上经化学反响构成固态堆积物的技能。

  CVD技能常常经过反响类型或许压力来分类，包含低压CVD(LPCVD)，常压CVD(APCVD)，亚常压CVD(SACVD)，超高真空CVD(UHCVD)，等离子体增强CVD(PECVD)，高密度等离子体CVD(HDPCVD)以及快热CVD(RTCVD)。然后，还有金属有机物CVD(MOCVD)，依据金属源的自特性来确保它的分类，这些金属的典型状况是液态，在导入容器之前必须先将它气化。

  设备组成：设备由真空法兰、高真空挡板阀、电阻真空计、真空波纹管、支架、真空泵组成

  该体系为一组低真空恒压机组设备，操控设备线KPa之间；合作真空管式炉、箱式气氛炉等真空设备运用设备组成：设备由真空法兰、高真空挡板阀、电阻真空计、真空波纹管、支架、真空泵、变速器、电动调理阀门等组成；技能参数：

  该体系为一组复合分子泵、前级抽气泵机组设备，操控设备线Pa；合作真空管式炉、箱式真空气氛炉等高真空设备运用；大范围的运用于外表剖析、半导体设备、等离子体技能、电真空器材的制作及真空技能研究

  设备组成：设备由复合分子泵、前级抽气泵、间隔放气阀、前级管路、分子泵电源、高真空检测体系（复合真空计）、操控电源组成

  产品特色：预抽气旁路规划，前级抽气不经过分子泵防止预抽气体中颗粒进入分子泵

  ZDS-X多路质子流量计操控供气体系体系运用：ZDS-X多路质子流量计操控供气体系是完成多种气体不同流量混合配比的供气体系

  设备组成：多路进气管路、质子流量计、混气罐、出气管路组成产品特色：1、几路进气客户自在定制，标准接口，便利衔接

  2、液晶触摸屏操控输入每路气体流量，实时检查各路气体流量曲线、每条气路均设置高压截止阀，便利切断气路技能参数：1、

  进出气接口：直径6mm不锈钢卡套接口12、管道：内部管道选用直径6mm不锈钢管；外部管选用6mm聚四氟管

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