广东振华获得真空镀膜舱及真空镀膜设备专利进步舱抽功率

　　专利摘要显现，本请求供给一种真空镀膜舱及真空镀膜设备，触及真空镀膜技术领域。真空镀膜舱包含真空舱、抽真空组件和榜首超高真空插板阀，真空舱具有多个抽气端，多个抽气端在真空舱的延伸方向相距离设置；抽真空组件经过榜首超高真空插板阀与抽气端衔接，榜首超高真空插板阀至少可以使真空舱和抽真空组件在断开状况和连通状况之间切换。本请求选用榜首超高真空插板阀代替挡板阀，可以下降真空镀膜舱需求抽空气的体积以及经过散布多个抽气端可以加快抽排速度和抽排均匀度，从而利于进步真空镀膜舱抽真空功率。

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