真空电磁压差角阀的制作方法

  本实用新型触及阀门，特别是触及真空泵及真空体系附件的改善规划，是用于真空泵及真空体系中当忽然停电时，能主动封闭，对泵及体系起安全维护效果的阀门。

  在真空体系与真空泵之间，为了在忽然停电时，起安全维护效果，常须装置阀门。已有该类阀门，在构造上存在以下缺点一是真空电磁压差阀阀体的进气口与出气口相位差180°， 往往需要在真空泵泵口装置弯管，因而，使真空机组体积巨大，结构粗笨；二是已有电磁压差阀，其阀盖的导向，是由焊接在衔接收上的阀盖座导向，当阀盖座焊接后加工困难，只能靠焊接时确保阀盖座的装置精度，但经过焊接后要产生热变形，故阀盖座的装置精度很难确保，从而使阀盖上的密封圈不能很好地与阀体上的密封面贴合，给阀门的密封功能带来影响。

  本实用新型的意图是规划一种有利于真空体系全体规划，结构相对比较简单，体积小，阀盖座与阀体的联接灵敏，加工便利，利于进步阀门的装置精度和密封功能的真空阀门。

  本实用新型真空电磁压差角阀的技能计划是由阀体、阀盖座和阀盖等所组成，其所谓的阀体是进气口与出气口的相位差90°阀体上有定位孔与阀盖座上的大圆柱面相合作，阀盖座上的小圆桩面与阀盖相合作，阀盖座的旁边面或底部衔接电磁先导磁阀。

  本实用新型的真空电磁压差角阀，其阀盖上开有燕尾密封槽，燕尾密封槽内的密封圈与阀体进气口密封合作。

  本实用新型公开了一种真空泵与真空体系之间的电磁压差角阀，阀体进步气口与出气口相位差90°，可取消原真空泵泵口的弯管，以及手动或电磁充气阀，使真空机组规划高度下降，结构紧奏。阀盖座与阀体的合作合理，阀盖座的大圆柱面与阀体的定位孔相合作，并由螺钉固定，加工灵敏、便利，精度确保，密封功能好等特色。

  图1是本实用新型的真空电磁压差阀结构示意图；图2是本实用新型的真空电磁压差阀结构俯视图；图3是本实用新型的真空电磁压差阀阀体主视图；图4是本实用新型的真空电磁压差阀阀体俯视图；图5是本实用新型真空电磁压差阀阀盖座主视图；图6是本实用新型真空电磁压差阀阀盖座侧视图；图7是本实用新型真空电磁压差阀阀盖主视图；图8是本实用新型真空电磁压差阀阀盖侧视图。

  1、阀体；2、阀盖座；3、阀盖；4、阀体与阀盖座合作面；5、电磁先导磁阀；6、衔接收；7、螺钉；8、出气口；9、燕尾槽密封圈；10、密封圈；11、活套法兰套环；12、进气口；13、密封圈；14、阀体定位孔；15、气腔；16、阀盖座小圆柱面；17、阀盖座大圆柱面；18、充气气槽；19、燕尾槽；20、空腔。

  本实用新型触及一种真空电磁压差阀门，最大的效果于真空泵及真空体系中当忽然停电时，能主动封闭阀门，对泵及体系起安全维护效果。其阀体1的进气口12与出气口8相位差90°(如

  图1、图3所示)。阀体1联接阀盖座2，其联接处是以阀体的定位孔14与阀盖座大圆柱面17相合作，并由紧固件(如螺钉7)相固定，在阀盖座上装置阀盖3，阀盖座的旁边面或底部装置衔接收6，衔接收的另一端与电磁先导磁阀5相连，先导阀上的充气孔与衔接收内孔与阀盖座气腔15相通。先导磁阀通电时封闭，停电时翻开，当压差阀(本实用新型)接在真空泵口和真空体系上，通电作业时，阀体1进步气口12和出气口8处于线充气口封闭，阀盖座气腔15内与阀体内的气压相同，阀盖3因为自重处于翻开状况。当忽然停电时，电磁先导磁阀翻开，气体经电磁先导磁阀5、衔接收6进入阀盖座气腔15，使气腔内的气压升到大气压(0.1MPa)，阀体内仍处于真空状况，在压差的效果下，阀盖3向上运动，封闭阀体1上的进气口12，切断了真空泵与真空体系的联络，与此同时，阀盖座上充气槽18与阀体内腔注册，气腔内的气体经充气槽进入阀体内腔与真空泵内腔，损坏泵腔内的真空度，直至真空体系与阀体内腔压力平衡，阀盖在自重的效果下回到原先翻开的方位。

  权利要求1.真空电磁压差角阀，由阀体、阀盖座和阀盖等所组成，其特征是阀体(1)的进气口(12)与出气口(8)的相位差90°，阀体上有定位孔(14)与阀盖座(2)上的大圆柱面(17)相合作，阀盖座(2)上的小圆柱面(16)与阀盖(3)相合作，阀盖座(2)的旁边面或底部衔接电磁先导磁阀(5)。

  2.如权利要求1所述的真空电磁压差角阀，其特征是阀体(1)与阀盖座(2)的安装是紧固件相固定。

  3.如权利要求1所述的真空电磁压差角阀，其特征是阀盖(3)上开有燕尾密封槽(19)，燕尾密封槽内的密封圈(9)与阀体进气口密封合作。

  专利摘要真空电磁压差角阀，由阀体、阀盖座和阀盖等所组成，其阀体的进气口与出气口的相位差90°，阀体上有定位孔与阀盖座上的大圆柱面相合作，阀盖座的旁边面或底部衔接电磁先导磁阀。本实用新型因为阀体进、出气口相位差90°，可取消原真空泵泵口的弯管，以及手动或电磁充气阀，使真空机组规划高度下降，结构严密相连，而且阀盖座与阀体的合作合理，加工、安装灵敏、便利，精度确保，密封功能好等特色。