详细介绍
专利摘要显现，本发明公开了一种一种具有高极限真空度的复合型低温泵，包含：制冷机、低温泵壳、制冷单元、榜首吸附单元及第二吸附单元，低温泵壳设有内腔，低温泵壳与制冷机衔接，制冷机装备有伸入至内腔内的制冷单元，榜首吸附单元衔接于制冷单元，榜首吸附单元可以吸附经过制冷单元冷凝后的气体，第二吸附单元衔接于低温泵壳并可以吸附内腔中的活性气体。本发明在使用时，内腔与外部容器连通，发动制冷机，制冷机经过制冷单元对内腔及容器内的空气快速的降温并抽真空，榜首吸附单元将气体进行吸附、冷凝和捕集，发动第二吸附单元，第二吸附单元发动后逐步的吸附真空腔体中剩余的非冷凝性气体，然后使得低温泵可以持续进步内腔及容器内的真空度。
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